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PO: Polymerphysik

PO 4: Poster: Oberflächen und Grenzflächen

PO 4.12: Poster

Montag, 17. März 1997, 15:30–17:30, Gg

Photoemissionselektronenmikroskopische Beobachtung der Entnetzung dünner Polymerfilme auf Silizium — •M. D. v. Przychowski¹, G. K. L. Marx¹, C. Lorenz², P. Vanhooren², M. Stamm² und G. Schönhense¹ — ¹Institut für Physik, Johannes Gutenberg-Universität Mainz, D-55099 Mainz — ²Max Planck Institut für Polymerforschung Mainz

Die Entnetzung dünner Polymerschichten tritt ein, wenn die Schichten in einem Vakuumofen über die Glastemperatur geheizt werden. Mikroskopische Untersuchungen wurden vor allem mit Phaseninterferenz- und Rasterkraftmikroskopen nach dem Tempern der Proben durchgeführt. Wir haben erstmals ein Photoemissionselektronenmikroskop (PEEM) zu Entnetzungsstudien an Polystyrolfilmen genutzt. Bei dieser Mikroskopie werden die durch UV-Licht aus der Probenoberfläche ausgelösten Photoelektronen zur elektronenoptischen Abbildung der Oberfläche benutzt Da es sich um ein parallel abbildendes Verfahren handelt, ist eine hohe Zeitauflösung möglich. Die Proben können dabei in situ bis über die Glastemperatur erwärmt werden. Der Bildkontrast bei der hier verwendeten Schwellenphotoemission ist u.a. sehr empfindlich von Austrittsarbeitsdifferenzen der Probenoberfläche abhängig. Es lassen sich daher Materialkontraste zwischen Polymer und Substrat beobachten. Durch die seitliche Beleuchtung der Oberfläche tritt auch ein Topographiekontrast auf, der die dem Primärstrahler zugeneigte Flächen heller erscheinen läßt.

Gefördert durch den SFB262