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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 1: Vakuumpumpen

Monday, March 17, 1997, 10:00–12:00, ZH

10:00 VA 1.1 Fachvortrag: High Pressure Operation of Turbomolecular Pumps: Current Status and Future Development — •G. Levi und M. Spagnol
10:40 VA 1.2 Einfache Funktionstest von Turbopumpen — •S. Ernst, P. Reimer, F. J. Schittko und H. G. Stüber
11:00 VA 1.3 New Developments in Small Diffusion Pumps — •Graeme Huntley
11:20 VA 1.4 Untersuchung des Einflusses einer Vorleitstufe auf das Saugvermvgen einer Turbomolekularpumpe — •Ch. Beyer, H. Paßmann und P. Plingen
11:40 VA 1.5 Gestaltung von Verdichterstufen für Turbomolekularpumpen für den Druckbereich 0.01 bis > 2 mbar — •Ch. Beyer, R. Schneiders, M. Gregor und P. klinger Klingner
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