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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik
VA 2: Druckmessung
VA 2.2: Talk
Monday, March 17, 1997, 14:40–15:00, ZH
Neuere Entwicklungen der Partial- und Totaldruckmessung mit optischen Methoden — •K. Jousten, E. Lanzinger und M. Kühne — Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Abbestr. 2-12, 10587 Berlin
Optische Methoden der Partialdruckmessung haben gegenüber den herkömmlichen Methoden mit Quadrupolmassenspektrometern den Vorteil, daß die Wechselwirkung des Meßinstruments mit dem zu untersuchenden Gas auf den Meßprozeß selbst beschränkt bleibt und absolute Partialdrücke ermittelt werden können. Daher werden weltweit seit einigen Jahren in mehreren Laboratorien Verfahren zur Partialdruckbestimmung mit absorptions- und photoionisationsspektroskopischen Methoden entwickelt. Mittels nichtresonanter Photoionisation wurden auch Totaldrücke im extremen UHV bestimmt.
In der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt (PTB) wurde eine UHV-taugliche Vielfachreflexionszelle nach Herriott [1] zur Bestimmung absoluter Partialdrücke oberhalb von 10−4 Pa mittels IR-Laserabsorptionsspektroskopie aufgebaut. Zur Überprüfung des Verfahrens wurden bei bekanntem Druck die Linienstärken mehrerer Absorptionslinien von CO bestimmt. Die ermittelten Werte weichen um weniger als 3% von neueren Literaturwerten [2][3] ab.
[1] D. Herriott, H.J. Schulte, Appl. Opt. 4(8), 883 (1965)
[2] A.G. Maki, J.S. Wells, NIST special publication 821, (1991)
[3] L.S. Rothman et al., J. Quant. Spectrosc. Radiat. Transfer, in Vorbereitung, hitran 1996