Regensburg 1998 – wissenschaftliches Programm

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HL: Halbleiterphysik

HL 15: Störstellen

HL 15.5: Vortrag

Dienstag, 24. März 1998, 11:30–11:45, H13

Identifizierung von Au- und Pt-St"orstellen in Silizium mit Photolumineszenz — •M. Knopf¹, E. Alves², J. Bollmann³, A. Burchard¹, M. Deicher¹, D. Forkel-Wirth⁴, K. Freitag⁵, M.O. Henry⁶, R. Magerle¹, C.J. McDonagh⁶, and A. St"otzler¹ — ¹Fakult"at f"ur Physik, Universit"at Konstanz, 78457 Konstanz — ²Centro de Fisica Nuclear, Universidade de Lisboa, 1699 Lissabon, Portugal — ³Humboldt Universit"at Berlin, 10115 Berlin — ⁴ISOLDE-Kollaboration, CERN, CH-1211 Genf 23, Schweiz — ⁵Institut f"ur Strahlen- und Kernphysik, Universit"at Bonn, 53115 Bonn — ⁶School of Physical Sciences, Dublin City University, Dublin 9, Irland

Zur Identifizierung der durch Au und Pt verursachten Energieniveaus in Si wurden Photolumineszenzmessungen (PL) an mit stabilen und radioaktiven Isotopen dotierten Proben durchgef"uhrt. Si verschiedener Grunddotierung wurde mit stabilem Au und Pt mit Dosen von 10¹¹ bis 10¹⁴ cm⁻² implantiert (E = 60 keV bzw. 200 keV). PL-Spektren wurden nach Ausheilen der Implantationssch"aden zwischen 1170 K und 1370 K bei Temperaturen zwischen 7 und 20 K gemessen. Zur zweifelsfreien Defektidentifizierung wurden Si-Proben mit 60 keV mit ¹⁹¹Hg und ¹⁹³Hg am on-line Separator ISOLDE/CERN implantiert. Die Proben wurden "uber mehrere Tage auf tiefer Temperatur gehalten und die PL-Linien als Funktion der Zeit beobachtet. Die entsprechenden Halbwertszeiten in den Zerf"allen Hg→Au→Pt(→Ir) wurden als isotopenspezifische Eigenschaft zur Identifizierung der PL-Linien verwendet.