Regensburg 1998 – scientific programme
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TT: Tiefe Temperaturen
TT 3: Supraleitende Filme I
TT 3.6: Talk
Monday, March 23, 1998, 11:45–12:00, H 20
Herstellung und Charakterisierung von YBaCuO/PZT/Au-
Dünnfilmheterostrukturen — •R. Aidam und R. Schneider — Forschungszentrum Karlsruhe, INFP, Postfach 3640, D-76021 Karlsruhe
Dünnfilmheterostrukturen bestehend aus (001)-orientiertem supraleitendem YBa2Cu3O7 und ferroelektrischem PbZrxTi1−xO3 (PZT) Lagen wurden in situ auf (100) SrTiO3- und MgO-Substraten unter Verwendung von invertierten Zylindermagnetrons gesputtert. Die Depositionsparameter wurden optimiert, um nahezu stöchiometrische ferroelektrische PZT-Lagen auf YBaCuO ohne Beimischungen von paraelektrischer, pyrochlorer Phase zu erreichen. Das epitaktische Wachstum wurde mittels Röntgenbeugung und Channeling-Messungen untersucht. Es wurden Mosaikbreiten von 0.2∘ und eine minimale Ausbeute von 7% für PZT erreicht. Die ferroelektrische Eigenschaft der PZT-Schichten wurden mit Hilfe von Parallelplattenkondensatoren und eines modifizierten Sawyer-Tower-Schaltkreises im Temperaturbereich zwischen 4.2 und 300 K untersucht. Die remanente Polarisation und die Koerzitivfeldstärke der Hystereseschleife betragen 60 µC/cm2 und 200 kV/cm bei 4.2 K. Ferroelektrische supraleitende Feldeffekttransistoren wurden hergestellt. Modulationen des elektrischen Widerstandes und der kritischen Stromdichte von 12 bzw. 10% wurden im YBaCuO-Kanal beobachtet.