Heidelberg 1999 – scientific programme

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K: Kurzzeitphysik

K IV: HV IV

K IV.1: Invited Talk

Thursday, March 18, 1999, 10:30–11:00, GE1

Vorbehandlung von Polymeren mit UV-Excimerstrahlung und Plasmen bei Atmosphärendruck zur haftfesten und selektiven Metallisierung — •E.W. Kreutz¹, H. Horn Solle¹, S Beil² und K. Pochner² — ¹Lehrstuhl für Lasertechnik, RWTH Aachen, Steinbachstraße 15, D-52074 Aachen — ²Fraunhofer Institut fur Lasertechnik, Steinbachstraße 15, D-52074 Aachen

Die Haftung metallischer Schichten auf Polymeren ist ein grundlegende Notwendigkeit für die Anwendung metallisierter Polymere in der Elektronik oder der Mikrosystemtechnologie. Sie wird auf mikroskopischer Ebene von den chemischen und den strukturellen Eigenschaften der Polymeroberfläche beeinflußt. Durch Bestrahlung mit UV-Excimerlaserstrahlung, UV-Excimerlampenstrahlung oder Atmosphärenplasmen kann die Polymeroberfläche funktionalisiert werden. Dabei erfolgt eine chemische Modifizierung der Oberfläche, die zu veränderten Wechselwirkung mit umgebenden Medien führt. Dies ermöglicht durch eine selektive Ankopplung von Komplexen eine selektive Metallisierung und führt zu einer verbesserten Haftung elektrochemisch abgeschiedener Metallschichten. Durch Laserbestrahlung oberhalb der Abtragschwelle des Polymers ist außerdem eine Veränderung der Oberflächenmorphologie möglich, die eine mechanische Verankerung der Metallschichten bewirkt.
Gefördert vom BMBF,Förderkenzeichen: 13N6675