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P: Plasmaphysik

P 20: Diagnostik (Poster)

P 20.27: Poster

Montag, 15. März 1999, 16:30–19:00, PY

Lichtstreuung an reaktiven RF-Plasmen in einer kapazitiv gekoppelten Entladung — •M. Kaczor, S.V. Singh und H. Soltwisch — Institut für Experimentalphysik V, Ruhr-Universität Bochum

Reaktive RF-Plasmen in kapazitiv gekoppelten Entladungen zeichnen sich durch vergleichsweise niedrige Elektronendichten von 10¹⁵ m⁻³ bis 10¹⁷ m⁻³ und Elektronentemperaturen von einigen eV aus. Für die Thomson-Streuung an diesen Plasmen wurde in vorangegangenen Arbeiten eine Vielkanal-Streudiagnostik entwickelt, die parallel in acht spektralen Kanälen einzelne Photonen detektieren und den zeitlichen Verlauf des Streulichtes erfassen kann. Als Lichtquelle wurde ein abstimmbarer, frequenzverdoppelter Ti:S-Laser mit 1 kHz Repetitionsrate und 1 mJ pro Laserschuß gewählt. Es soll gezeigt werden, daß sich dieses System einerseits dazu eignet, durch die Wahl einer entsprechenden Wellenlänge das Plasma-Eigenleuchten für die Thomson-Streuung weitgehend zu reduzieren, und daß es andererseits die Möglichkeit bietet, gezielt laser-induzierte Fluoreszenz geringer Intensität anzuregen.