Heidelberg 1999 – scientific programme
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SYAO: Symposium Angewandte Optik
SYAO 2: Angewandte Optik
SYAO 2.3: Talk
Friday, March 19, 1999, 14:30–14:45, PH1
Refraktive Strahlformungselemente — •Lars-Christian Wittig, Frank Wyrowski und E.-B. Kley — Friedrich-Schiller-Universität Jena, Max-Wien-Platz 1, 07743 Jena
Für technische und wissenschaftliche Anwendungen werden oftmals
Strahlprofile benötigt, die von einer Gaußschen Verteilung abweichen. Die
Umformung der Intensitätsverteilung kann mithilfe von
Strahlformungselementen erfolgen. Derartige mikrooptische Elemente können
sowohl durch ein stetiges Höhenprofil („refraktiv“) als auch durch
ein Profil mit Höhen-Sprüngen („diffraktiv“) realisiert werden.
Kontinuierliche Höhenprofile besitzen den Vorteil geringer
Wellenlängensensitivität und hoher Beugungseffizienz.
Als Beispiel wird ein spezielles Strahlformungselement (Gauß zu Top-Head)
vorgestellt. Das Höhenprofil wurde durch Anwendung analoger
Photolithographie in Kombination mit einem Oberflächenspannungsverfahren
erzeugt. Es werden Ergebnisse der optischen Charakterisierung des Elements
vorgestellt und die gewonnenen Parameter dem entsprechenden „diffraktiven“ Element gegenübergestellt.