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Münster 1999 – scientific programme

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DS: Dünne Schichten

DS 29: Elektrische Eigenschaften

DS 29.3: Fachvortrag

Thursday, March 25, 1999, 14:30–14:45, PC 7

Herstellung elektrisch leitfähiger Wolframkarbidschichten durch PVD — •Henry Romanus1, Volker Cimalla1, Juergen A. Schaefer1, Gernot Ecke2 und Lothar Spieß31TU Ilmenau, Institut für Physik, PF 100565, D-98684 Ilmenau — 2TU Ilmenau, Institut für Festkörperelektronik — 3TU Ilmenau, Institut für Werkstofftechnik

Wolframkarbid (WC) ist ein elektrisch leitendes, hartes, chemisch- und hochtemperaturstabiles Material. Für SiC-Bauelemente, spezielle Sensoren und Aktoren ist WC ein geeignetes Material. Diese Arbeit beschäftigt sich mit der Präparation von einphasigem WC und gemischten Schichten aus WC und W2C.
Röntgenamorphe dünne Schichten wurden mittels Gleichstrom-Magnetron-Sputtern von einem Sintertarget auf Si, Si3N4 und 3CSiC abgeschieden. Anschließend wurden die Proben in einer Umgebung aus Wasserstoff/Argon/Propan unterschiedlicher Zusammensetzung getempert und die entstandenen Schichten mit XRD, AFM, AES und elektrisch charakterisiert. Die Abhängigkeit der Eigenschaften von den Temperbedingungen wird in dieser Arbeit dargestellt.

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