Münster 1999 – wissenschaftliches Programm
Bereiche | Tage | Auswahl | Suche | Downloads | Hilfe
DS: Dünne Schichten
DS 33: Postersitzung
DS 33.15: Poster
Dienstag, 23. März 1999, 09:30–17:30, Aula
Epitaktisches Wachstum von Iridiumschichten auf SrTiO3
(001)–Oberflächen — •F. Hörmann, H. Roll, M. Schreck und B. Stritzker — Universität Augsburg, Institut für Physik, 86135 Augsburg
Einkristalline Ir–Schichten erweisen sich als vielversprechendes Substrat für die epitaktische Nukleation von Diamant. Ihre Realisierung erfordert allerdings ein epitaktisches Wachstum auf einem einkristallinen Substrat. Im vorliegenden Beitrag wird über die Deposition von Ir auf SrTiO3 (001) berichtet. Die Schichten wurden mittels Elektronenstrahlverdampfen im Hochvakuum hergestellt. Ihre Charakterisierung erfolgte mittels Röntgentexturmessungen, Rasterelektronenmikroskopie und Rasterkraftmikroskopie. Bei Variation der Probentemperatur zwischen 400oC und 950oC während der Schichtabscheidung findet man eine drastische Veränderung von Morphologie und Textur der Schichten. Für die höchste Temperatur von 950oC erhält man die erwünschte Epitaxiebeziehung Ir(001)[100] ∥ SrTiO3(001)[100] mit einer Mosaikverteilung <0,2o sowie eine extrem glatte Oberfläche.