Münster 1999 – wissenschaftliches Programm

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DS: Dünne Schichten

DS 6: Harte Schichten II

DS 6.1: Fachvortrag

Montag, 22. März 1999, 17:45–18:00, PC 7

Herstellung dicker kubischer Bornitridfilme mittels zyklischer Deposition und Entspannung durch Ionenbestrahlung — •P. Widmayer, B. Heinz, H.-G. Boyen und P. Ziemann — Abt. Festkörperphysik, Universität Ulm, 89069 Ulm

Der Aufbau starker kompressiver Verspannungen während des Wachstums stellt das größte Problem beim Wachstum von c-BN–Filmen dar und begrenzt die maximal erreichbaren Schichtdicken auf einige 100 nm. Die Möglichkeit, dünne c-BN Filme durch Bestrahlung mit mittelenergetischen Ionen (300 keV) zu entspannen, wurde dazu ausgenutzt, um mittels zyklischen Nachwachsens dünner Filme (100 nm) und darauffolgender ex situ Ionenbestrahlung dicke c-BN–Schichten herzustellen. Messungen der Filmverspannung nach jedem Schritt zeigen eine zyklische Zu- und Abnahme des Stresses jeweils in Verbindung mit einer Verschiebung der c-BN TO-Linie. Die Bestrahlung ermöglicht die Relaxation der Bindungspartner und führt zur Entspannung, der gleichzeitige Einbau von Defekten wirkt dem allerdings entgegen. Wie Temperexperimente zeigen, heilen die Defekte bei thermischem Anlassen auf Depositionstemperatur aus, die Streßreduktion wird so weiter gesteigert.