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HL: Halbleiterphysik

HL 12: Poster I

HL 12.1: Poster

Monday, March 22, 1999, 14:00–18:00, Z

TEM-Untersuchungen zur Morphologie und zur Nukleation von Makroporen auf (100) p-Si — •M. Christophersen, C. Jäger, J. Carstensen und W. Jäger — Technische Fakultät, Kaiserstr.2, 24143 Kiel

Die anodische Auflösung von n-Si in wässrigen, flußsäuerehaltigen Elektroloyten ist seit

langer Zeit bekannt, wobei es möglich ist durch die Auswahl der Elektrolytparameter und

Rückseitenbeleuchtung sogenannte Makroporen mit Strukturgrößen im Mikrometerbereich zu

erzeugen.

Der Bildungmechanismus der Makroporen auf n-Silizium unter Rückseitenbeleuchtung schien bis auf

Randthemen geklärt zu sein. Die kürzliche Entdeckung der Makroporen auf p-Si erschütterte

fundamental das vorhandene Modell des Makroporenwachstums. Mittels

Transmissionselektronenmikroskopie und Rasterelektronenmikroskopie wurden erstmals Untersuchungen

zur Makroporennukleation und der Mikrostruktur der Makroporen auf p-Si durchgeführt, welche

mittels flußsäurehaltigem Acetonitril hergestellt worden sind. Die Ergebnisse werden

diskutiert in Hinblick auf ein neues Modell zur anodischen Ätzung von Makroporen in

flußsäurehaltigen Elektrolyten in Silizium.