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HL: Halbleiterphysik

HL 23: Poster II

HL 23.27: Poster

Wednesday, March 24, 1999, 14:00–18:00, Z

Kapazitätsspektrospie an Wasserstoffkomplexen von Rhodium und Iridium in Silizium — •S. Knack¹, J. Weber¹ und H. Lemke² — ¹Max-Planck Institut für Festkörperforschung — ²TU Berlin

An n- und p-typ Proben von Rhodium- und Iridium-dotierten Silizium wurden Kapazitäts-Messungen durchgeführt. Durch nass- chemisches Ätzen vor dem Aufdampfen von Schottky- Kontakten konnte Wasserstoff in den oberflächennahen Bereich der Proben eingebracht werden. Die Niveaus der isolierten Übergangsmetalle wurden so in Wasserstoff- korrelierte Niveaus transformiert. Die Aktivierungsenergien und Einfangquerschnitte für Majoritätsladungsträger wurden mittels DLTS gemessen. Durch Anpassen der Konzentrationsprofile an ein einfaches Modell der Diffusion und Komplexbildung wurde die Anzahl der an den Komplexen beteiligten Wasserstoffatome bestimmt. Gemeinsamkeiten mit den Eigenschaften von Kobalt- Wasserstoff Komplexen in Silizium werden aufgezeigt.