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HL: Halbleiterphysik
HL 23: Poster II
HL 23.86: Poster
Wednesday, March 24, 1999, 14:00–18:00, Z
Materialübertrag in der MOVPE: Einfluß alternativer Gruppe-V Quellen — •Martin Gerhardt, Gerrit Kirpal und Volker Gottschalch — Universität Leipzig, Linne Str. 3, 04103 Leipzig
Der Arsen-Übertrag ist ein in der MOVPE von InP/(GaIn)(AsP)-Heterostrukturen allgegenwärtiger Effekt, der bei verschiedenen Bauelement-Strukturen verhindert werden muß. Wir haben festgestellt, daß der Einsatz von alternativen Gruppe-V Quellen den As-Übertrag wesentlich verringert. Hierbei wurde anstelle der Standardquellen AsH3 und PH3 eine Reihe von Alternativquellen untersucht, in denen systematisch ein bis drei As- (bzw. P-) H-Bindungen
durch Alkylgruppen ersetzt sind. Die im System InGaAs/InP bzw. InGaAs/InGaAsP abgeschiedenen Proben wurden mittels Röntgenbeugung sowie SIMS charakterisiert. Die Unterschiede beim As-Übertrag zwischen Standard- und Alternativsystemen werden auf Grundlage der verschiedenen Zersetzungstemperaturen, Reaktionswege und möglicher Querreaktionen diskutiert.