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M: Metallphysik

M 26: Postersitzung

M 26.13: Poster

Thursday, March 25, 1999, 15:00–19:00, Aula

Fehlstellenprofile nach Elektronen- und Protonenbestrahlungen — •U. Männig, K. Bennewitz, M. Haaks, C. Zamponi und K. Maier — Nußallee 14-16, 53115 Bonn

Die Bonner Positronenmikrosonde ist ein hochempfindliches Meßgerät zur Detektierung von Gitterfehlern. Die räumliche Auflösung liegt im Mikrometerbereich.

Es wurden Fehlstellenuntersuchungen von Molybdän- und Kupfer-Proben, die im Stuttgarter Hochspannungs-Elektronen-Mikroskop bestrahlt wurden, durchgeführt. Die dabei entstehenden Einzelleerstellen können mithilfe des S-Parameters quantifiziert werden.

Wolfram-, Molybdän- und Silizium-Proben unterschiedlicher Dicke wurden in der Leipziger Ionen-Nanosonde mit Protonen bestrahlt. Das mit TRIM92 simulierte Tiefenprofil der entstandenen Fehlstellen wird mit den experimentell ermittelten Daten verglichen. Eine Unterscheidung der unterschiedlichen Fehlstellentypen ist durch Temperprozesse und genaue Auswertung der Zerstrahlungslinie möglich.