Münster 1999 – scientific programme

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O: Oberflächenphysik

O 36: Poster (II)

O 36.65: Poster

Thursday, March 25, 1999, 20:00–22:30, Zelt

Differentielle konfokale Mikroskopie zur kontaktlosen Vermessung von Oberflächenunebenheiten — •Markus Bender, Harald Gießen und Wolfgang W. Rühle — Fachbereich Physik, Philipps-Universität Marburg, Renthof 5, 35032 Marburg

Wenn bei einem konfokalen Mikroskop die Probe oder die Lochblende in z-Richtung vibriert werden, erhält man als Intensität die axiale Antwortfunktion der optischen Abbildung. Ein differentielles Modulationsverfahren erlaubt, die Ableitung der Antwortfunktion (üblicherweise die sinc-Funktion) direkt zu bestimmen. Das Verfahren erlaubt, Oberflächenrauhigkeit bis weit in den sub-Mikrometerbereich kontaktlos zu vermessen. Wir vergleichen experimentelle Ergebnisse unserer Implementierung und theoretische Modellierung.