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Münster 1999 – scientific programme

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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 1: Vakuumpumpen

Monday, March 22, 1999, 10:00–12:10, ZH

10:00 VA 1.1 Fachvortrag: Verbesserungen in Halbleiterprozessen durch die richtige Wahl von Vorvakuumpumpen und durch die Optimierung der Vorvakuum Rohrleitung — •Peter Reimer, D. Smith, and P. Sabouri
10:30 VA 1.2 Fortschritte auf dem Gebiet der Membran-/Vorvakuumpumpen — •Dipl.-Ing. Erwin Hauser
10:50 VA 1.3 Experimentelle Untersuchungen zur Bestimmung der Reibleistung von Argon und Helium im Druckbereich von 10−3...10−1 mbar bei einer Temperatur von 330K — •F. J. Schittko, Ch. Beyer, J. Brezina, H. Englaender und I. Seckel
11:10 VA 1.4 Die Anpassung von Gewindestufen an die Turbostufen einer Compound-Molekularpumpe — •P. Klingner, Ch. Beyer und H. Englaender
11:30 VA 1.5 Saugvermögensmessung von Turbomolekularpumpen mittels Behälterevakuierung — •W. Jitschin
11:50 VA 1.6 Saugvermögen für Wasserstoff und Edelgase an Aktivkohlepanels in Kryopumpen — •Christian Day
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