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Münster 1999 – wissenschaftliches Programm

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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 3: Vakuummesstechnik

Montag, 22. März 1999, 15:20–17:30, ZH

15:20 VA 3.1 Hauptvortrag: Das Quadrupol-Massenspektrometer als Prozeßmonitor — •Christoph Lohe
16:00 VA 3.2 Fachvortrag: Keramische Drucksensoren für die Regelung von Prozessdrücken im Bereich von Microbar — •U. Wälchli und Per Björkmann
16:30 VA 3.3 Gasreibungsvakuummetermessungen im Temperaturbereich von -200C bis +100C — •Bernd E. Lindenau und Charles R. Tilford
16:50 VA 3.4 Anwendung eines Gasreibungsvakuummeters zur Bestimmung von Volumenverhältnissen — •K. Jousten
17:10 VA 3.5 Anwendung der Elektronendriftgeschwindigkeit zur Druckmessung — •Christian Edelmann, R. Kauert, and St. Wilfert
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