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P: Plasmaphysik

P 13: Staubige Plasmen

P 13.4: Vortrag

Freitag, 7. April 2000, 12:15–12:30, HS III

Insitu Beobachtung der Größenänderung von Nanopartikeln in reaktiven Plasmen durch Mie-Ellipsometrie — •G. Gebauer und J. Winter — Institut für Experimentalphysik II, Ruhr-Universität Bochum, 44780 Bochum

Ziel ist die Ausarbeitung und Fortentwicklung einer Diagnostik zur insitu-Bestimmung der Größen und der Dichteverteilungsfunktion von Nanopartikeln, welche sich durch Koagulation von Makromolekülen in einem reaktiven Plasma bilden bzw. ins Plasma eingebracht werden und dort verdampfen.
Durch die kontrollierte Abscheidung dieser Teilchen aus dem Plasma auf ein Substrat kann eine gleichmäßige dünne, amorphe Schicht mit nanokristallinnen Einschlüßen aufgebaut werden. Die Eigenschaften dieser Schichten können über die bekannte Größenverteilung der Teilchen gezielt verändert werden.
Bei der Mie-Ellipsometrie wird der Polarisationszustand des an den Teilchen gestreuten Lichtes auf der Grundlage der Mie-Theorie untersucht und darüber der Teilchenradius, der Brechungsindex und die Größenverteilungsfunktion der Teilchen bestimmt.
Diese Arbeit wird gefördert von der DFG im Rahmen des SFB 191 Teilprojekt B8.