Bonn 2000 – wissenschaftliches Programm
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P: Plasmaphysik
P 16: Plasmadiagnostik (Poster)
P 16.27: Poster
Mittwoch, 5. April 2000, 10:30–13:00, Aula
Messungen der EEDF in einem ECR-Plasma mit einer Sonde und der Emissionsspektroskopie — •P. Starke, U. Fantz und K. Behringer — Lehrstuhl für Experimentelle Plasmaphysik, Institut für Physik, Universität Augsburg, 86135 Augsburg
Für die genaue Bestimmung von Plasmaparametern am ECR - Plasma ist die Kenntnis der EEDF nötig, da diese von der Maxwellverteilung abweichen kann. Die EEDF kann mit einer Sonde im Energiebereich von 0 bis ca. 15 eV bestimmt werden. Die Emissionsspektroskopie verschiedener Atomlinien und Molekülbanden aus unterschiedlichen Energiebereichen liefert Informationen über die EEDF im höherenergetischen Bereich, so daß die EEDF aus der Sonde erweitert werden kann. Für die Messungen wurde eine Langmuir - Sonde in Triaxialtechnik verwendet. Um den Einfluß des inhomogenen Magnetfeldes der ECR - Entladung zu bestimmen, wurde die Sonde senkrecht und parallel zum Sichtstrahl in die Kammer eingeführt. Ein räumliches Bild der Plasmen erhielt man durch Variation der Höhe bzw. des Abstandes zum Sichtstrahl. Für die Emissionsspektroskopie stand ein absolut kalibriertes Spektrometer zur Verfügung. Um einen möglichst großen Bereich der EEDF abzudecken, wurden H2- und D2-Plasmen mit Helium, Argon, Stickstoff und Krypton gebrannt und daraus der Exponent der EEDF bestimmt [K. Behringer, U. Fantz 1994]. Die Dichten der Gase wurden mit Hilfe eines Massenspektrometers gemessen, um die Entmischung der Gase im vorhandenen Vakuum - System zu erhalten. Für die absolute Bestimmung von ne wurde ein Mikrowelleninterferometer (150 GHz) aufgebaut, da die Sonde, durch den Einfluss des Magnetfeldes nur relative Änderungen in ne liefert.