Bonn 2000 – wissenschaftliches Programm
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P: Plasmaphysik
P 8: Entladungen II
P 8.1: Fachvortrag
Dienstag, 4. April 2000, 16:30–17:00, HS IX
Mikrostrukturierte Elektrodensysteme zur Erzeugung flächiger Plasmen bei Atmosphärendruck — •Cordula Geßner, Peter Scheffler und Karl-Heinz Gericke — Institut für Physikalische und Theoretische Chemie, TU Braunschweig, D-38106 Braunschweig
Mit Hilfe mikrotechnischer Verfahren werden kammartig ineinandergreifende Kathoden- und
Anoden-Strukturen im Mikrometermaßstab auf Trägermaterialien aufgebracht. Im DC-
bzw. RF-Betrieb lassen sich in einem weiten Druckbereich, insbesondere auch bei
Atmosphärendruck, homogene, flächige Plasmen zünden. Die typischen
Flächenleistungsdichten im RF-Betrieb (13.56 MHz) betragen ca. 3 W / cm2. Es
werden verschiedene Geometrien der Elektrodensysteme vorgestellt und der Einfluß von
unterschiedlichen Elektroden- und Trägermaterialien diskutiert. Für die so erzeugten
Plasmen ergeben sich vielfältige Anwendungsmöglichkeiten, beispielsweise in der
Umwelttechnologie zur Reinigung von Abgasen, auf dem
Gebiet der plasmachemischen Synthese, bei diversen Verfahren der Oberflächenbehandlung, sowie als Ionisations- und Lichtquellen.