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AM: Magnetismus

AM 10: Dünne Schichten I

AM 10.3: Talk

Wednesday, March 28, 2001, 14:30–14:45, S 5.2

Deposition von Nd₂Fe₁₄B - Filmen aus Reinelementtargets — •Ullrich Hannemann, Sebastian Fähler, Steffen Oswald, Bernhard Holzapfel und Ludwig Schultz — IFW Dresden, Helmholtzstraße 20, 01069 Dresden und SFB 463

Zur Untersuchung der extrinsischen Eigenschaften hartmagnetischer Materialien bietet sich die Nd₂Fe₁₄B-Phase an. Durch einen Überschuß von weichmagnetischem α-Eisen bzw. paramagnetischem Neodym ändert sich die Mikrostuktur, ohne daß durch phasenfremde Legierungspartner die intrinsischen Eigenschaften beeinflußt werden. Mit dem Verfahren der gepulsten Laserdeposition ausgehend von den Reinelementtargets Neodym, Eisen und Bor ist es gelungen, stöchiometrische und c-Achsen-texturierte Nd₂Fe₁₄B-Filme zu präparieren. Mit dieser Depositionsmethode läßt sich auf einfache Art und Weise die Zusammensetzung variieren. Mit SIMS-Messungen an den Filmen wurde die Homogenität sowie die Funktion von Pufferschichten (z. B. Cr, Ta) als Diffusionsbarrieren untersucht. Erste Ergebnisse des Filmwachstums und der magnetischen Eigenschaften werden vorgestellt.