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DS: Dünne Schichten

DS 31: Postersitzung

DS 31.36: Poster

Dienstag, 27. März 2001, 16:30–17:30, Foyer Saal 4

Mechanische Eigenschaften von B-C-N-Schichten — •Volker Linss, Ilja Hermann und Frank Richter — Institut für Physik, TU Chemnitz, 09107 Chemnitz

Mittels DC-Magnetronsputtern wurden Schichten von B-C-Targets verschiedener Zusammensetzung von reinem Bor bis zu reinem Kohlenstoff hergestellt. Die Abscheidung erfolgte einerseits mit reinem Argon und andererseits reaktiv unter Zugabe verschiedener Anteile Stickstoff zum Sputtergas. Gesamtdruck, Entladungsstrom sowie Beschichtungszeit wurden konstant gehalten. Neben dem Stickstoffanteil im Sputtergas wurde noch die Substrat-Biaspannung von Floatingpotential bis auf -450V variiert. Die Schichten zeigen deutliche Abhängigkeiten ihrer mechanischen Eigenschaften vom Stickstoffgehalt im Sputtergas sowie von der Substrat-Biasspannung. Der Elastizitätsmodul und die Berkovich-Härte wurden mittels eines Nanoindentors UMIS 2000 bei Lasten von 5, 3 und 1mN bestimmt.