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DS: Dünne Schichten

DS 31: Postersitzung

DS 31.7: Poster

Dienstag, 27. März 2001, 16:30–17:30, Foyer Saal 4

Kalorimetrische Messungen an wachsenden dünnen Schichten bei lasergestützter Abscheidung — •Michael Mans, Sven Linzen, Frank Schmidt, Frank Schmidl und Paul Seidel — Friedrich-Schiller-Universiät Jena, Institut für Festkörperphysik, Arbeitsgruppe Tieftemperaturphysik, Helmholtzweg 5, 07743 Jena

Es wird versucht, den Energieeintrag in eine wachsende dünne Schicht zu ermitteln, der durch die Teilchen verursacht wird, die bei lasergestützter Abscheidung auf diese Schicht auftreffen. Hierbei wird zunächst zwischen zwei möglichen Temperatursensoren abgewogen: einem Dünnschichtbolometer und einem Thermoelement, mit ihren jeweiligen Vor- und Nachteilen (Herstellungsaufwand, Zeitkonstanten etc.). Erste Testmessungen an Bi-Schichten bei verschiedenen Abscheide- und Wachstumsbedingungen (z.B. Laserenergie, Pulswiederholfrequenz, Substrattemperatur) werden vorgestellt. Die Arbeit wird durch das BMBF unter der Projekt-Nr. 13N6808A gefördert.