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DS: Dünne Schichten

DS 8: Schutzschichten

DS 8.3: Talk

Monday, March 26, 2001, 17:30–17:45, S 13/14

Darstellung und Charakterisierung von harten TiC/a-C-Verschleißschutzschichten — •Harald Liepack¹, Albrecht Leonhardt² und Karl Bartsch³ — ¹Liepack, Harald IFW-Dresden Helmholzstr.20 01069 Dresden — ²Dr.Leonhardt, Albrecht IFW-Dresden Helmholzstr.20 01069 Dresden — ³Dr.Bartsch, Karl IFW-Dresden Helmholzstr.20 01069 Dresden

H.Liepack, A.Leonhardt, K.Bartsch

Institut für Festkörper- und Werkstofforschung Dresden

Neue hochfeste Werkstoffe erfordern zu ihrer effektiven Bearbeitung neue, sehr verschleißfeste Schneidwerkzeuge. Zur Verbesserung des Widerstandes gegen abrasiven Verschleiß bieten harte und superharte Schichten hierbei das höchste Potential. Mit Hilfe des PACVD-Verfahrens (plasma assisted chemical vapour deposition) konnte eine Co-Abscheidung von nanokristallinem TiC und amorphem Kohlenstoff realisiert werden. Diese Schichten besitzen Härten von über 4000 HV[0,02], wobei das Härtemaximum bei ca. 60 at% Kohlenstoff beobachtet wird. Eigenspannungsmessungen mittels der „Laser-optischen“ Methode zeigen hohe Druckeigenspannungen bei Schichtdicken unter 150nm, mit steigender Schichtdicke ist eine Abnahme der Druckeigenspannungen zu verzeichnen. Durch TEM-Untersuchungen werden Mikrorisse in gleichmäßigen Abständen von ca. 150nm in den TiC/a-C-Schichten nachgewiesen, die den "entspannten" Zustand der dickeren Schichten erklären können. Als Ergebnis dieser Untersuchungen werden Wechselschichten mit Einzelschichtdicken von weniger als 150nm diskutiert.