Hamburg 2001 – wissenschaftliches Programm
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O: Oberflächenphysik
O 5: Oberfl
ächenreaktionen (I)
O 5.3: Vortrag
Montag, 26. März 2001, 11:45–12:00, M
Zerstäubung von W durch C bei erhöhter Termperatur — •Klaus Schmid und Joachim Roth — Max-Planck-Institut für Plasmaphysik
Gewichtsverlust-Messungen beim Beschuß von W durch 2.4keV C Ionen zeigen eine deutliche Abhängigkeit von Temperatur im Bereich von 300K bis 1073K . Zunächst nimmt, verursacht durch die Erosion des W-Substrates, das Gewicht der Probe ab und beginnt ab einer bestimmten Fluenz Qc wieder zu steigen. Dieser Anstieg rüht vom Wachsen einer C-Schicht her (C-Depositionsphase). Bei höheren Temperaturen ist eine größere Fluenz Qc nötig um in den Bereich der Gewichtszunahme zu kommen und auch der Gewichtsanstieg erfolgt langsamer als bei 300K. Die Verschiebung von Qc zu höheren Fluenzen wird verursacht durch die Diffusion des aufgebrachten C in das W Substrat. Der geringere Gewichtszuwachs in der Depositionsphase rührt her von der bei C auftretenden "Radiation Enhaced Sublimation" (RES) [1].
Die oben beschriebenen Prozesse wurden getrennt von einander untersucht und die Teilergebnisse in einem Simulationsprogramm verarbeitet, welches die Messungen gut reproduziert. Es besteht aus einer Kombination des MC-Programms TRIDYN [2] und dem Diffusionsprogramm DiffuseDC um die gleichzeitige Implantation, Zerstäubung und Diffusion zu modelieren.
[1] J. Roth,W.Möeller, Nucl. Instr. Meth. B7/8 (1985 ) 788-792
[2] W. Möller, W. Eckstein, Computer Physics Communications 51 (1988) 355-368