Hamburg 2001 – scientific programme

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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 3: Vakuummikroelektronik

VA 3.1: Invited Talk

Monday, March 26, 2001, 14:00–14:40, R221

Feldemitterarrays - Bauelemente der Vakuummikroelektronik — •W. Knapp, D. Schleußner, O.F.O. Kieler und T. Drüsedau — Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg, Institut für Experimentelle Physik, Universitätsplatz 2, D-39106 Magdeburg

Die Feldelektronenemission in Verbindung mit neuen, auf Nanotechnologien und Materialforschung basierenden Entwicklungen wird die Zukunft der Vakuummikroelektronik maßgeblich beeinflussen. Grundbauelemente in der Technologie der Vakuummikroelektronik sind Feldemitterarrays (FEA), die z. B. für Feldemissionsdisplays benötigt weden. Bei Feldemitterarrays mit Einzelemittern (Spindt-Katoden) sind Effizienz und Lebensdauer unzureichend. Eine Alternative sind Feldemitterarrays mit flächenhaft deponierten Emittern und neuen Materialien, wie z. B. Carbon-Nanotubes. Die Charakterisierung neuartiger Feldemitter ist ein Schwerpunkt unserer Forschungen. Die Eigenschaften und Langzeitstabilität der Feldemission werden maßgeblich von den Wechselwirkungen Restgas-Feldemitter beeinflusst, die für verschiedene Belastungen und kleine Vakua untersucht werden. Die Einflußgrößen zur Katodenzerstäubung werden bewertet und verschiedene Schutzkonzepte vorgestellt. Eine jüngere Entwicklung unserer Forschungen betrifft die kostengünstige Herstellung nanoporöser Dünnschicht-Feldemitter mittels PVD, insbesondere aus den hochschmelzenden Metallen Mo und W. Vergleichende Untersuchungen zeigen, dass derartige Emitterschichten für FEA-Katoden eine Alternative sind.