Bochum 2002 – scientific programme
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P: Plasmaphysik
P 22: Poster: Magnetische Fusion, Plasmadiagnostik, Dichte Plasmen
P 22.19: Poster
Tuesday, March 19, 2002, 17:40–18:40, HZO Foyer
Lithium-Atomstrahl-Spektroskopie für Te und Ne in Niedertemperaturplasmen — •M. Böke und J. Winter — Institut für Experimentalphysik II (anwendungsorientierte Plasmaphysik), Ruhr-Universität Bochum, D-44780 Bochum
In Niedertemperaturplasmen
haben
Elektronendichte und mittlere Elektronenenergie
hohen Einfluß
auf chemische Reaktivität und
Schichtabscheidung. Daher ist
deren Kenntnis – insbesondere deren räumliche
Verteilung und
zeitliche Entwicklung – von fundamentaler
Bedeutung.
Die
emittierte Strahlung eines thermischen Lithium-
Atomstrahles wird
ausgenutzt, um Plasmadichte und mittlere
Elektronenenergie zu
ermitteln. Mittels eines intensivierten Imaging
Spektrometers wird
das von den neutralen Lithium-Atomen (angeregt
durch Stösse mit
Plasmalelektronen) emittierte Licht aufgenommen.
Die aus
geeigneten Linienintensitätsverhältnissen mit
Hilfe eines
Stoß-Strahlungsmodelles gewonnenen
Plasmaparameter werden
zunächst zur Erprobung und Charakterisierung
der Diagnostik mit
Ergebnissen aus Sondenmessungen in Edelgasplasmen
verglichen.
LIF-Messungen unter Verwendung eines
durchstimmbaren Diodenlasers
in externem Resonator (Littman-Anordnung) werden
zur Vermessung
des Li-Atomstrahles benutzt. Als
Entladungsgeometrie steht eine
modifizierte GEC-Zelle mit induktiver Einkopplung
zur Verfügung,
welche bei einer Frequenz von 13.56 MHz und
Drücken im Bereich
von 0.1-50 Pa betrieben wird. Neben den Messungen
mit dem
thermischen Lithium-Atomstrahl werden erste
Ergebnisse eines
gepulsten Laser Blow-Off Lithium-Strahles
gezeigt.
Gefördert vom SFB191
(Niedertemperaturplasmen, Teilprojekt B8).