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P: Plasmaphysik
P 23: Poster: Plasmatechnologie, Plasma-Wand-Wechselwirkung, Staubige Plasmen, Plasmadiagnostik
P 23.15: Poster
Wednesday, March 20, 2002, 17:40–18:40, HZO Foyer
Zeitaufgelöste emissionspektroskopische Untersuchungen einer induktiv gekoppelten Wasserstoff-RF-Entladung — •M. Abdel-Rahman1, V. Schulz-von der Gathen1, T. Gans2 und H.F. Döbele1 — 1Universität Essen, Institut für Laser- und Plasmaphysik, 45117 Essen — 2Ruhr-Universität Bochum, Institut für experimentelle Physik, 44780 Bochum
Phasenaufgelöste emissionsspektroskopische Untersuchungen in einer
kapazitiv gekoppelten Wasserstoff-RF-Entladung mit einer schnell pulsbaren
CCD-Kamera erlaubten einen detaillierten Einblick in die
Anregungsdynamik atomarer und molekularer Zustände (siehe Beiträge T.
Gans). Diese Untersuchungsmethode wird in diesem Experiment eingesetzt, um
die auf Grund der unterschiedlichen Heizmechanismen in der induktiv
gekoppelten Entladung zu erwartenden Unterschiede in der Anregungsdynamik
zu identifizieren. Erste Ergebnisse werden vorgestellt, die bei Leistungs-
und Druckvariation mit diesem Detektionssystem an einer
induktiv gekoppelten RF-Entladung (typisch. 1-10 Pa, 100-300 W) mit
planarer Spulengeometrie ortsaufgelöst erhalten wurden.
Gefördert von der DFG im Rahmen des SFB 191 und durch ein Stipendium der
ägyptischen Regierung für M. Abdel-Rahman.