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Bochum 2002 – wissenschaftliches Programm

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P: Plasmaphysik

P 23: Poster: Plasmatechnologie, Plasma-Wand-Wechselwirkung, Staubige Plasmen, Plasmadiagnostik

P 23.17: Poster

Mittwoch, 20. März 2002, 17:40–18:40, HZO Foyer

Emissionsspektroskopie und Sondenmessungen an einer Helikonentladung — •Bernd Clarenbach, Michael Krämer und Bernd Lorenz — Ruhr-Universität Bochum

An der großvolumigen Helikonentladung HE-L (ne ≤ 2· 1019m−3,PHF≤ 2 kW, f=13.56 MHz, Te≈ 3 eV,B<0.2  T, p≈ 1 Pa Argon, rp=7.4 cm, Lp=110 cm) wurde die Intensität zahlreicher Argon- und Helium-Linien in reinen Argon und in Argon-Heliumgemischen gemessen. Die Elektronentemperatur im HF-Puls wurde aus einem He/Ar Linienverhältnis unter der Annahme einer Maxwellverteilung bestimmt. Die Temperaturen, die aus Messungen mit einer passiv kompensierten Langmuri-Sonde gewonnen wurden, zeigen gute Übereinstimmung mit den spektroskopischen Messungen. Entsprechende Messungen wurden mit Linienverhältnissen von Argon und Argonionen durchgeführt.

Um zu klären ob stoßlose Heizprozesse wie Elektrontrapping eine Rolle spielen, wurde der zeitliche Intensitätverlauf einer kurzlebigen Ar+ Linie auf der Zeitskala der HF untersucht. Aufgrund der hohen Anregungsenergie hängt die Intensität stark vom Schwanz der Verteilungsfunktion ab. Die Modulation der Intensität, die von einigen Autoren [1] beobachtet wurde, konnte bei unseren Entladungparametern nicht nachgewiesen werden.

[1] A.R. Ellingboe, R.W. Boswell, J.B. Booth and N. Sadeghi, Phya. Plasmas, 2, 1807 (1995)

Diese Arbeit wurde von der DFG durch den SFB 191, Projekt A12 gefördert.

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