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Regensburg 2002 – scientific programme

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DF: Dielektrische Festkörper

DF 7: Dielektrische und ferroelektrische Schichten und Rastermethoden

DF 7.3: Talk

Thursday, March 14, 2002, 10:30–10:50, 11

Strukturelle und ferroelektriche Eigenschaften epitaktischer PbZr0.52Ti0.48O3 und BaTiO3 Schichten hergestellt auf SrRuO3/SrTiO3(100) Substraten — •Jürgen Schubert1, Julio Rodriguez-Contreras2 und Hermann Kohlstedt21Forschungszentrum Jülich, ISG1-IT — 2Forschungszentrum Jülich, IFF-EMK

Wir haben einkristalline epitaktische PbZr0.52Ti0.48O3 (PZT) und BaTiO3(BTO) Schichten auf einkristallinem epitaktischen SrRuO3(SRO) Schichten, die auf SrTiO3(100) (STO) Substraten hergestellt wurden, untersucht. Die PZT und SRO Schichten wurden mit Sauerstoff-Hochdrucksputtern und BTO mittels PLD hergestellt. Sie wurden mit XRD, HRTEM, RBS und channeling auf ihre strukturellen Eigenschaften untersucht. Alle Filme waren c-Achsen texturiert und parallel zur Kristallorientierung des STO ausgerichtet. Scharfe Grenzflächen und atomare glatte Oberflächen konnten mit HRTEM und AFM nachgewiesen werden. Der Dickenbereich, in dem die ferroelektrischen Eigenschaften der Filme charakterisiert wurden, lag zwischen 12 nm und 200 nm. Ferroelektrische Hysteresekurven konnten bis zu einer Dicke von 12 nm in beiden Materialien nachgewiesen werden. PZT zeigte Fatigue nach ca. 107 Zyklen, während BTO nch 108 Zyklen kein Fatigue aufweist.

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