Regensburg 2002 – scientific programme
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HL: Halbleiterphysik
HL 38: Poster 2
HL 38.42: Poster
Thursday, March 14, 2002, 16:30–19:00, Poster A
Dielektrische Funktion im Bereich der Absorptionskante von ZnO und ZnO-MgO- und ZnO-Ga2O3-Mischkristallen untersucht mittels spektroskopischer Ellipsometrie — •Rüdiger Schmidt1, Carsten Bundesmann1, Alexander Kasic1, Evgeni Kaidashev1,2, Bernd Rheinländer1, Michael Lorenz1, Mathias Schubert1 und Marius Grundmann1 — 1Universität Leipzig, Fak. Physik und Geowissenschaften, Inst. Experimentelle Physik II, Linnestr.5, 04103 Leipzig — 2Rostov State University, Mechanics and Applied Mathematics Research Institute
Mittels Plasma-Laser-Deposition (PLD) wurden Schichten von ZnO, (ZnO)1-x(MgO)x (0 < x < 0,075) und (ZnO)1-x(Ga2O3)x (0 < x < 0,05) mit Schichtdicken im Bereich (0,3 - 2) mm auf c-Saphir abgeschieden. Aus Messungen der ellipsometrischen Parameter im Energiebereich (1-5) eV bei Zimmertemperatur wurde die komplexe dielektrische Funktion der Schichtmaterialien bestimmt. Für ZnO wurde dabei eine gegenüber der Literatur modifizierte Modellfunktion verwendet. Für die Mischkristalle werden Ergebnisse zu Spektren ihrer dielektrischen Funktion gezeigt. Die Einflüsse von Mischkristallzusammensetzung und Abscheideparametern auf Übergangsenergien und Linienform werden diskutiert.