Regensburg 2002 – wissenschaftliches Programm

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M: Metallphysik

M 17: Diffusion und Punktdefekte II

M 17.5: Fachvortrag

Mittwoch, 13. März 2002, 18:00–18:15, H6

Beweglichkeit von Edelmetallatomen in Polymeren bei Raumtemperatur — •Axel Thran und Franz Faupel — Lehrstuhl für Materialverbunde, Technische Fakultät der Universität Kiel, Kaiserstr. 2, 24143 Kiel, Germany, ff@techfak.uni-kiel.de

Polymeren werden in der Mikroelektronik im Bereich des Packaging und zunehmend auch in integrierten Schaltkreisen als „low-k dielectrics“ eingesetzt. Vor diesem Hintergrund ist die Diffusion von Metallen in Polymeren in den letzten Jahre intensiv untersucht worden [1,2]. Dabei hat sich herausgestellt, daß es beim Metallisieren von Polymeren mit Edelmetallen zu einem komplizierten Zusammenspiel von Diffusion und Aggregation kommt, das die Eindiffusion nennenswerter Metallmengen in Polymere verhindert. Im Vortrag werden Ergebnisse aus Radiotracer-Messungen von 110m-Ag in einem Polycarbonat und aus Monte-Carlo-Simulationen vorgestellt. Es zeigt sich, daß die starke Aggregationsneigung nicht verhindern kann, daß selbst bei Raumtemperatur Spuren von Metall in Form von einzelnen Atomen weit in das Polymervolumen eindiffundieren. Dies macht in Verbindung mit Halbleiterbausteinen die Verwendung von Diffusionsbarrieren erforderlich.

1. F. Faupel, R. Willecke and A. Thran, Mater. Sci. Eng. R 22, 1 (1998).

2. M. Kiene, T. Strunskus, R. Peter, and F. Faupel, Adv. Mater. 10, 1357 (1998).