Regensburg 2002 – wissenschaftliches Programm

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SYPO: Plasmaoberflächentechnik – Beschichten, Ätzen und Modifizieren

SYPO I: HV I

Montag, 11. März 2002, 14:00–14:45, HS 32

	14:00	SYPO I.1	Hauptvortrag: The physics of plasma-enhanced CVD for large area coating — •Christoph Hollenstein, Alan Howling, and Laurent Sansonnens