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SYPO: Plasmaoberflächentechnik – Beschichten, Ätzen und Modifizieren

SYPO VIII: HV VIII

SYPO VIII.1: Invited Talk

Tuesday, March 12, 2002, 11:00–11:45, HS 32

Harte und superharte Nanoschichten und Nanoschichtsysteme — •Bernd Schultrich — Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik, Winterbergstr.28, 01277 Dresden

Nanostrukturen sind ein inhärenter Bestandteil der Dünnschichtsysteme. Offensichtlich ist dies bei ultradünnen Schichten, bei aus Nanometer-Einzelschichten aufgebauten Multischichten und bei Nanocomposit-Schichten. Zu diesem Problemkreis gehört aber auch das Grundproblem der Schichttechnologie, die Gestaltung der Substrat-Schicht-Grenzfläche. Am Beispiel der karbidischen/nitridischen Hartstoffschichten und der Kohlenstoffschichten wird gezeigt, wie durch gezielte Einstellung der Nanostrukturen die mechanischen Eigenschaften, insbesondere die Härte, wesentlich gesteigert werden können. An Beispielen aus der industriellen Praxis wird das Anwendungspotential dieser Nanoschutzschichten demonstriert. Abschließend wird ihre Verknüpfung mit weiteren funktionellen Eigenschaften diskutiert.