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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

VA 3: Vakuummesstechnik

VA 3.3: Talk

Monday, March 11, 2002, 15:50–16:10, H47

Druckmessung mit Sensoren aus reinem Aluminiumoxid — •Urs Waelchli — INFICON AG LI-9496 Balzers

Aus dem Werkstoff Aluminiumoxid lassen sich dünne Membranen mit guten Eigenschaften zur Messung von Drücken in kapazitiven Messsystemen herstellen. Vor allem die Entwicklung hin zu hoch reinen Aluminiumoxidkeramiken macht die daraus entstehenden Messzellen für viele Anwendungen interessant. Hochreines Aluminiumoxid zeichnet sich durch eine äusserst hohe Korrosionsbeständigkeit und interessante mechanische Eigenschaften aus. Mit dünnen Membranen lassen sich auf der einen Seite mit relativ grossen Sensoren tiefe Drüecke also im Vollausschlag 100 mTorr oder kleine relativ präzise Sensoren für Drücke um 1000 mbar fertigen. Insbesondere solch kleine Sensoren bieten die Möglichkeiten für neuartige Kombinationssensoren.