Regensburg 2002 – scientific programme

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VA: Vakuumphysik und Vakuumtechnik

	Mon, 09:30–12:10	H47	VA 1: Vakuumverfahrenstechnik
	Mon, 14:30–15:10	H47	VA 2: Große Vakuumsysteme
	Mon, 15:10–16:50	H47	VA 3: Vakuummesstechnik
	Mon, 16:50–17:10	H47	VA 4: Vakuummikroelektronik