Kiel 2004 – wissenschaftliches Programm
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K: Kurzzeitphysik
K 1: Strahlungsquellen UV - VUV - EUV
K 1.3: Vortrag
Dienstag, 9. März 2004, 11:30–11:50, A
Untersuchungen zur Dynamik einer Pseudofunkenentladung in einem niederinduktiven Entladekreis — •Rainer Bischoff und Klaus Frank — Physikalisches Institut I, Universität Erlangen-Nürnberg, Erwin-Rommel-Str. 1, 91058 Erlangen
Die Pseudofunkenentladung ist eine stromstarke Niederdruckentladung, die auf dem linken Ast der sogenannten Paschenkurve angesiedelt ist und sich durch einen spezielle Hohlelektrodengeometrie auszeichnet. Charakteristisch für den Pseudofunken ist ein komplexer, noch nicht komplett verstandener, Verlauf der Entladung mit mehreren Phasen, der erheblich vom externen elektrischen Kreis und dem Triggerverfahren abhängt. Eine neue Anwendung dieser Entladeform ist der Einsatz als Quelle intensiver EUV-Strahlung für die Lithographie.
Vorgestellt werden neue Experimente an einem speziellen, niederinduktiven Entladekreis ( L = 24 nF ), mit Entladeströmen I von bis zu 14 kA und Stromanstiegsraten İ von bis zu 3 · 1011 A/s bei variablem Druck. Das Arbeitsgas ist Xenon. Der Einfluss eines dielektrischen Triggersystems auf die Vorentladungsphase wurde untersucht. Messungen der elektrischen Parameter des Entladekreises und des zeitlichen Elektronenstrahlprofils zeigen Prozesse des Stromabreissens (Quenching) und Pinchen während der Hochstromphase der Entladung.
Diese Arbeit wird gefördert vom Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF), Projekt 13N8132