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K: Kurzzeitphysik

K 2: Pulsed-Power-Technik

K 2.4: Talk

Tuesday, March 9, 2004, 16:25–16:45, A

Einfluss der Peakingkreisinduktivität in Excimerlasern — •Claus Strowitzki und Stefan Falk — TuiLaser AG, Industriestr. 15, 82110 Germering

Die Induktivität des Peakingkreises liegt bei Excimerlasern im Bereich von 8 nH. Durch die sehr niedrige Entladungsimpedanz von 0,5 Ohm ist die elektrische Anpassung zwischen Peakingkreis und Entladung nicht optimal.Durch Verbesserungen im Aufbau kann man die Peakingkreisinduktivität auf 1nH reduzieren. Es werden Simulationen und Messungen von Entladungsströmen bei verschiedenen Peakingkreisinduktivitäten gezeigt.

Es zeigt sich, dass bei einer Peakingkreisinduktivität von 1 nH eine fast optimale Energieeinkoppelung in die Entladung erreicht wird.