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AIW: Ausschuss Industrie und Wirtschaft

AIW 2: Anwendungen

AIW 2.2: Talk

Thursday, March 11, 2004, 11:15–11:45, H 17

Diffraktive Optik: Neue Chancen mit mikro- und nanostrukturierter Optik — •Robert Brunner — Carl Zeiss Jena GmbH

Hybride optische Systeme in der Kombination aus diffraktiv und refraktiv wirkenden Elementen weisen ein enormes Potential auf, klassische Design-Ansätze stark zu vereinfachen und Abbildungsleistungen zu ermöglichen, die durch einen konventionellen Ansatz nicht realisierbar wären. Die Stärken dieses hybriden Ansatzes werden anhand verschiedener optischer Systeme, wie z.B. einem speziellen UV-Mikroskop-Objektiv diskutiert. Effizient beugende diffraktive Elemente bilden die Basis zur erfolgreichen Umsetzung des hybriden Konzeptes. Als Basistechnologie zur Realisierung dieser Elemente eignen sich besonders holografische Strukturierungsprozesse. Durch die Verwendung von Wellenlängen im tiefen UV-Bereich sind Strukturbreiten unter 100 nm auf holografischem Wege erzielbar. Diese nanooptischen Elemente („Zero-Order-Gratings“) lassen sich durch Anpassung der Profilgeometrie in ihrer polarisierenden oder antireflektierenden Wirkung optimieren.