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DS: Dünne Schichten

DS 5: Spezielle Schichten I

DS 5.1: Invited Talk

Monday, March 8, 2004, 09:30–10:15, HS 32

Eigenschaften amorpher, tetragonal gebundener Kohlenstoffschichten — •Bernd Schultrich — Fraunhofer-Institut fuer Werkstoff.- und Strahltechnik, Winterbergstrasse 28, 01277 Dresden

Kohlenstoff bildet in fester Form Dreier- bzw. Viererkoordinationen aus. Dementsprechend bilden sich zweidimensionale bzw. dreidimensionale Netzwerke wie im Graphit bzw. im Diamant aus. Beide Modifikationen zeigen hinsichtlich ihrer mechanischen, elektrischen und optischen Eigenschaften ein komplementaeres Erscheinungsbild. Mit PVD-Verfahren laesst sich Kohlenstoff als amorphes Material abscheiden, in dem beide Bindungstypen frei miteinander kombiniert werden koennen. Unter Verwendung energiereicher Teilchen ist es moeglich, amorphe Kohlenstoffstrukturen mit bis zu 80 wird ein Ueberblick ueber die Eigenschaften derartiger ta-C-Schichten und über deren Modifikation durch gezielte Veränderung der Beschichtungsbedingungen gegeben. Die ta-C-Schichten stellen hochgradige Nichtgleichgewichts-Strukturen dar. Sie sind zwar bis zu Temperaturen um 500 Grad stabil, lassen sich aber durch lokalen Energieeintrag in graphitische Strukturen überfuehren. Es werden daraus resultierende Moeglichkeiten zur Herstellung von Mikro- und Nanostrukturen vorgestellt.