Regensburg 2004 – scientific programme

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HL: Halbleiterphysik

HL 12: Poster I

HL 12.81: Poster

Monday, March 8, 2004, 16:30–19:00, Poster A

Einfluss von verschiedenen Nukleationsschichten auf die Eigenschaften von ZnO-Dünnfilmen — •Holger von Wenckstern, Andreas Rahm, Jörg Lenzner, Michael Lorenz, Holger Hochmuth und Marius Grundmann — Universität Leipzig, Institut für Experimentelle Physik II, Linnéstraße 5

ZnO-Dünnfilme wurden epitaktisch mittels gepulster Laser Deposition auf Saphir abgeschieden. Dabei wurde der Einfluss verschiedener Nukleationsschichten (ZnO, MgO) auf die strukturellen, optischen und elektrischen Eigenschaften mittels Röntgen-, SNMS-, RHEED-, Kathodolumineszenz- und Halleffektmessungen untersucht. Die kritischen Züchtungsparameter für der Nukleationsschichten wie Temperatur, Art und Druck des Restgases wurden ebenfalls variiert. Zudem wurde der Einfluss der Orientierung des Substrates in die Untersuchungen einbezogen.