Berlin 2005 – wissenschaftliches Programm
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DS: Dünne Schichten
DS 23: Postersitzung I
DS 23.33: Poster
Freitag, 4. März 2005, 16:00–18:30, Poster TU B
Epitaktische Eigenschaften von dünnen ZnO-Filmen auf (001) SrTiO3 — •Matthias Karger und Meinhard Schilling — TU Braunschweig, Institut für Elektrische Messtechnik und Grundlagen der Elektrotechnik, Hans-Sommer-Straße 66, 38106 Braunschweig
Zinkoxid ist eines der aussichtsreichsten Materialien für transparente, leitfähige oxidische Dünnfilme. Filme hoher Qualität können mit verschiedensten Methoden auf den unterschiedlichsten Substraten abgeschieden werden. Wir präsentieren Untersuchungen zum Wachstum von undotierten und mit Al-dotierten ZnO-Filmen, die bei Substrtattemperaturen zwischen 600 ∘C und 850 ∘C mittels Pulsed Laser Deposition auf TiO-terminiertem SrTiO3 (001) hergestellt wurden. Mit in-situ Hochdruck-RHEED konnte gezeigt werden, dass bei Substrattemperaturen ab etwa 800 ∘C die Filme eine sehr polykristalline Struktur annehmen. Filme, die bei Temperaturen zwischen 600 ∘C und 800 ∘C abgeschieden wurden, zeigen wenige RHEED-Oszillationen und im weiteren Verlauf der Deposition eine nahezu perfekte (1120)-Orientierung. Röntgenuntersuchungen untermauern die RHEED Ergebnisse zur Epitaxie und zeigen, dass es prinzipiell möglich ist, ZnO-Filme mit guter epitaktischer Qualität auf SrTiO3 (001) aufzuwachsen. AFM Messungen ergeben Rauigkeiten zwischen 3 nm und 5 nm (rms).