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DS: Dünne Schichten
DS 24: Postersitzung II
DS 24.24: Poster
Tuesday, March 8, 2005, 17:00–19:00, Poster TU B
Abscheidung von ZnO mittels Pulsed Laser Deposition auf Saphir — •Martin Beck — Martin Beck Talstrasse 18 07743 Jena
Die Abscheidung von Zinkoxid mittels Pulsed Laser Deposition von Zink-Target und ZnO-Target auf Saphir (1-102) und Saphir (0001) wird untersucht. Die Abscheideparameter Substrattemperatur und Sauerstoffdruck werden variiert. Die Schichten werden mit Röntgendiffraktometrie, RBS sowie optischer Transmissionsmessung untersucht. Anhand des Cmin -Werts des RBS-Zinksignals und Leitfähigkeitsmessungen soll die Rolle von Zn-Interstitials für die n-Leitung von ZnO abgeschätzt werden.