Berlin 2005 – wissenschaftliches Programm
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DS: Dünne Schichten
DS 5: Optische, metallische und magnetische Schichten
DS 5.2: Vortrag
Freitag, 4. März 2005, 11:00–11:15, TU HS110
Epitaktisch gewachsene dünne PLD-Sesquioxidschichten auf Quarz — •Stefan Ehlert, Sebastian Bär, Lutz Rabisch, Yury Kuzminykh, Hanno Scheife und Günter Huber — Institut für Laser-Physik, Universität Hamburg, Luruper Chaussee 149, 22761 Hamburg
Optisch aktive Schichten aus Sesquioxiden sind vielversprechende Materialien für optische Bauelemente wie z. B. Wellenleiter.
Ausgehend von dem bekannten Substratmaterial α-Al2O3 für Sesquioxidschichten wird in dieser Arbeit Quarz als Substrat verwendet, um einen größeren Brechungsindexunterschied zwischen Substrat und Schicht für das wellenleitende System zu erzielen.
Es sind die Systeme Y2O3, Y1,5Sc0,5O3 und Y0,2Lu1,8O3 hinsichtlich ihrer Gitteranpassung auf Quarz (0001) untersucht worden. Dünne Schichten im Bereich von 5 nm bis 100 nm aus diesen Materialien wurden per Pulsed Laser Deposition hergestellt und mittels Fluoreszenzspektroskopie, Röntgenbeugung und Rasterkraftmikroskopie charakterisiert.
Erste Ergebnisse zeigen, dass kristallines Wachstum der Schichten in (111)-Richtung möglich ist. Weitere Resultate werden vorgestellt.