Berlin 2005 – wissenschaftliches Programm

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P: Plasmaphysik

P 6: Diagnostik 2

P 6.4: Vortrag

Freitag, 4. März 2005, 15:45–16:00, HU 3059

Spektroskopische In-Situ Bestimmung von Kohlenstoffdichten in einem Mikrowellen erzeugten Plasma — •A.- B. Ene, P. Lindner, R. Stirn und U. Schumacher — Institut für Plasmaforschung, Pfaffenwaldring 31, D-70569 Stuttgart

Kohlenstoffhaltige Plasmen spielen sowohl in den plasmatechnologischen Anwendungen, z.B. bei der Abscheidung von amorphen Kohlenstoff-Schichten, als auch in fusionsorientierten Experimenten eine wichtige Rolle. Für das genaue Verständnis der im Plasma ablaufenden Prozesse ist die Kenntnis der Dichte von Kohlenstoff von elementarem Interesse. Emissions- und Absorptionsspektroskopie eröffnen die Möglichkeit, diese Dichte in situ zu bestimmen. Die Messung der Konzentration von neutralem Kohlenstoff in einer Elektron-Zyklotron Plasmaentladung ist mit Hilfe der Selbsapsorbtion an dem resonanten Triplettübergang 3P-3PO bei einer Wellenlänge von l=165 nm durchgeführt worden. Dabei ist aus den Linienintensitätsverhälnissen die Grundzustandsdichte des Kohlenstoffs bestimmt worden. Die Auswertung erfolgt anhand eines numerischen Modells, in dem die Strahlungstransportgleichung unter Vorgabe des Dichteprofils gelöst wird.