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P: Plasmaphysik

P 7: Poster: Niedertemperaturplasmen / Plasmatechnologie 3, Diagnostik 3

P 7.17: Poster

Friday, March 4, 2005, 16:30–18:30, Poster HU

Eine Plasmaabsorptionssonde zur Messung der Elektronendichte — •Christian Scharwitz, Marc Böke und Jörg Winter — Ruhr-Universität Bochum, Institut für Experimentalphysik II

Die Anwendung des Standardverfahrens zur ortsaufgelösten Elektronendichtebestimmung, die Messung mit einer Langmuirsonde, wird in reaktiven Plasmen durch die Abscheidung von Schichten in hohem Maße erschwert. Eine Plasmaabsorptionssonde ist durch eine dielektrische Umhüllung geschützt und daher gegen solche Plasmaeinflüsse unempfindlich. Das Messprinzip beruht in der Aufnahme eines Reflexionsspektrums in Abhängigkeit von der Frequenz mit Hilfe einer kleinen Antenne am Sondenkopf. Bei einer für die Elektronendichte charakteristischen Frequenz tritt ein Absorptionssignal auf. Es wurden Messungen an verschiedenen Entladungstypen und -geometrien durchgeführt und in Edelgasplasmen erfolgten Vergleiche mit Standarddiagnostiken. Die Absorptionssonde wurde experimentell charakterisiert. Sie erweist sich für Messungen in beschichtenden Plasmen als sehr geeignet.