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Augsburg 2006 – scientific programme

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P: Plasmaphysik

P 15: Diagnostik 2; Niedertemperaturplasmen / Plasmatechnologie 5; Plasma-Wand Wechselwirkung 1

P 15.35: Poster

Tuesday, March 28, 2006, 17:00–19:00, Flure

Hochfrequenzabsorption und Elektronenheizung an einer Hochfrequenzelektrode in einem Helikontargetplasma — •Bernd Clarenbach und Michael Krämer — Experimentalphysik II, Ruhr-Universität Bochum

Untersucht wird die Leistungsabsorption und Elektronenheizung an einer HF-Elektrode (Pmax ≈ 500 W, Durchmesser = 150 mm), die sich im Zentrum einer großvolumigen Diffusionskammer mit magnetischem Multipolfeldeinschluss befindet. In die Kammer diffundiert das gepulste Argonplasma (τpulse = 3−8 msfpulse = 25/50  Hz, PRF < 2  kWfRF = 13.56   MHz,  ne ≈ 1018  m−3Te ≈ 2  eV) einer Helikonentladung. Für die Messung der zeitlichen und räumlichen Elektronendichte und -temperatur bzw. Elektronenenergieverteilungsfunktion (EEVF) wird ein 1mm-Interferometer und eine passiv kompensierte Langmuirsonde eingesetzt. Spektroskopische Messungen der Argonlinienstrahlung in Kombination mit einem Stoß-Strahlungsmodel erlauben den Nachweis schneller Änderungen der EEVF. Über einen weiten Bereich der HF-Leistung und der Gasdichte wird untersucht, inwieweit die Elektronenheizung stochastisch ist. Darüber soll insbesondere auch der zeitliche Verlauf von Strom und Spannung an der HF-Elektrode, der mit einem HF-Messkopf gemessen wird, Aufschluss geben.

Gefördert von der DFG (SFB 591, Projekt A7)

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