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P: Fachverband Plasmaphysik

P 22: Poster

P 22.22: Poster

Thursday, March 22, 2007, 16:30–18:30, Poster A

Bestimmung der Teilchenflüsse in doppel ICP Plasmasterilisator — •Nikita Bibinov, Martin Gevers, Helmut Halfmann und Peter Awakowicz — AEPT,Ruhr Universität, Universitätsstr 150, 44780 Bochum

Mit Hilfe der Emissionsspektroskopie wurden die Plasmaparameter (Elektronendichte und Elektronenverteilungsfunktion) im doppel ICP Reaktor (Plasmasterilisator) (10 Pa He/N2 100/1) gemessen. Die gemessenen Parameter stimmen mit Daten aus Sondenmessungen überein. Weiter wurden die Plasmaparameter bei verschiedenen Gasmischungen (Ar/N2/O2/H2) mit Hilfe der Emissionsspektroskopie und einer Langmuir-Sonde gemessen, um die Flüsse von Atomen und Radikalen auf die Oberfläche von zu sterilisierenden Objekten zu errechnen.