Düsseldorf 2007 – scientific programme

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SYOH: Symposium Optische Hochleistungsbeschichtungen für den Einsatz in Lasersystemen und anderen Anwendungen

SYOH 2: Design, Herstellung und Kontrolle (Fortsetzung)

SYOH 2.2: Invited Talk

Wednesday, March 21, 2007, 14:30–15:00, 6A

Hochpräzise Fertigung: In situ Monitorierung und Rugate-Filter — •Henrik Ehlers — Laser Zentrum Hannover e. V., Hollerithallee 8, 30419 Hannover

Bei der Fertigung von hochpräzisen optischen Filtern stehen neben stabilen Beschichtungsprozessen vor allem fortschrittliche Methoden der Prozesskontrolle im Mittelpunkt des Interesses. Ausgehend von einer breitbandigen in situ Messung der Transmission am bewegten Produkt wurde ein Gerät entwickelt, das eine umfangreiche Datenbasis liefert. Die Verknüpfung des in situ Monitors mit der Anlagensteuerung ergibt ein vollautomatisiertes System, das auf einer präzisen Bestimmung der Schichtdicke aufsetzt und eine Ausgangsbasis für das Rapid Manufacturing komplexer Schichtsysteme darstellt.

Ein herausragendes Beispiel für den Einsatz dieses Messsystems ist die Herstellung von Rugate-Filtern in einem modifizierten Ion Beam Sputtering (IBS) Prozess. Im Gegensatz zu Multischichtsystemen mit alternierenden Schichten hoch- und niedrigbrechender Materialien basieren Rugate-Filter auf einem tiefenabhängig kontinuierlich modulierten Brechungsindex. Neben anspruchsvollen spektralen Charakteristika konnten mittels der abgeschiedenen oxidischen Mischmaterialien Fortschritte in der Laserzerstörfestigkeit sowie der Temperaturfestigkeit der Optiken erzielt werden.